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平面伺服电机藉由空气轴承并整合位置传感器,可于单一定子上放置多颗动子。
●双轴定位平台
●整合位置传感器可作闭回路控制
●采用空气轴承故无磨耗
●磁场不外漏,不影响周围设备
●无温升问题,系统精度相对稳定
●可倒吊安装
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