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HIWIN EFEM220-D13 晶圆移载系统

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产品编号
所属分类
EFEM&SORTER
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产品描述
参数

特征

  • 6" , 8" Open Cassette标准机型
  • 模组化机架,可依照客户需求调整配置方式
  • 符合国际半导体设备SEMI S2安全规范
  • 符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 1
  • 多种感测器侦测各项元件,即时监测设备状态
  • GUI介面软体,可远端操作指令,整合各装置子系统,提供单一指令格式窗口
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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发布时间:2020-10-28 19:53:29