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HIWIN EFEM320-D02 晶圆移载系统

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产品编号
所属分类
EFEM&SORTER
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产品描述
参数

特征

  • 8" , 12" 标准机型
  • 盘面式电控箱设计
  • 通过国际半导体设备SEMI S2安全认证
  • 符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 1
  • 多种感测器侦测各项元件,即时监测设备状态
  • 即时影像监控,条码、标签字元辨识,完整追踪生产过程
  • 提供客制化晶圆或其他基板搬运需求
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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发布时间:2020-10-28 19:53:29