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HIWIN EFEM320-D03 晶圆移载系统

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所属分类
EFEM&SORTER
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产品描述
参数

特征

  • 8" , 12" 标准机型
  • 隐藏式电控箱、寻边器设计,衔接窗口最大化
  • 通过国际半导体设备SEMI S2安全认证
  • 符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 1
  • 多种传感器侦测各项组件,实时监测设备状态
  • 提供客制化晶圆或其他基板搬运需求
  • 自动压力控制系统,透过环境压力变化,调节风扇转速保持设定值
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
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发布时间:2020-10-28 19:53:29