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EFEM&SORTER
EFEM产品
特色
体积业界最小,支持数种材质与轮廓侦测功能,最短于 4.9 秒内完成晶圆寻边、晶圆中心与角度等补正动作。
中心重复精度
±0.1
Notch角度重复精度
±0.2°
寻边时间
<5.9
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晶圆装卸机